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표면분석실

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책임 홍문규

1. 미세구조·표면 분석 운영 책임

2. 이차이온질량분석기(SIMS) 운영

3. 고분해능 원자힘현미경(바이오겸용)(HR-AFM(Bio 겸용)) 운영

4. 3차원 형상 측정 레이저 공초점 현미경(3D LSM) 운영

5. 표면깊이(낙차)측정기(Profiler) 운영

6. 마스크정렬노광시스템(Mask Aligner) 운영

7. 엘립소미터(Ellipsometer) 운영

8. KOLAS 역학분야 기술책임자

책임연구원 이은영

1. 엘립소미터 (Ellipsometer) 운영 

2. 광전자분광기 (XPS1) 운영

연구원 이주영

1. 고분해능오제전자분광기(AES) 운영

2. 광전자분광기 (XPS3) 운영

연구원 손민지

1. 고출력, 고분해능 다목적 X선회절 분석기 (다목적 XRD) 운영

2. 고출력 분말용 X선 회절분석기 (HP-Powder XRD 1) 운영

3. 고출력 박막용 X선 회절분석 (HP-ThinFilm XRD) 운영