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표면분석실

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1. 표면분석실 운영 책임

2. 자기섹터이차이온질량분석기(M-SIMS) 운영

1. 광전자분광기 (XPS1) 운영

2. 엘립소미터 (Ellipsometer) 운영

1. 고분해능오제전자분광기(AES)운영

2. 고분해능원자힘현미경(Bio-AFM)운영

3. 다목적초고분해능원자힘현미경(MP-AFM)운영


1. 광전자분광기 (XPS3) 운영

2. 광전자분광기 (XPS2) 운영

3. UV-Laser 가공시스템 운영

1. 고출력 분말용 X선 회절분석기1 (HP-Powder XRD 1) 운영

2. 고출력 분말용 X선 회절분석기2 (HP-Powder XRD 2) 운영

3. 고출력, 고분해능 다목적 X선회절 분석기 (MP-XRD) 운영


1. 비행시간형이차이온질량분석기(TOF-SIMS) 운영

2. 3차원 형상측정 레이저공초점현미경 (3D LSM) 운영

3. 표면깊이낙차측정기 (Profiler) 운영