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분석실 안내

연구장비 소개

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전계방사주사전자현미경(FESEMⅢ/EDS)

전계방사주사전자현미경(FESEMⅢ/EDS)
연구장비 이미지
단축명 FESEMⅢ/EDS
모델명 JSM7500F
설치장소 미세구조분석실//81B106호
제작사 JEOL
도입년도/가격 200712 / 280,000,000
담당자 강채연(Kang Chaeyeon) 031-299-6737
장비용도
Analysis of phase at small region for thin film and semiconductor materials needing the high resolution. 고해상도를 요구하는 박막재료, 반도체재료의 국부 영역의 상관찰
기본사양
Resolution : 1.4 nm guaranteed at 1kV 0.6 nm guaranteed at 30kV