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분석실 안내

연구장비 소개

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집속이온빔장치(FIB II)

집속이온빔장치(FIB II)
연구장비 이미지
단축명 FIB II
모델명 JIB-4601F
설치장소 미세구조분석실//81B102호
제작사 JEOL.LTD.
도입년도/가격 201305 / 1,250,000,000
담당자 김영미(Kim Youngmi) 031-299-6729
장비용도
A low-vacuum mode enables SEM observation without any coating of insulating material, so it can be used in almost any field. The FIB can be used for fine milling and TEM thin-film sample preparation. 3-dimensional images can be reconstructed to provide a better understanding of the internal structure of the specimen.
기본사양
Ion source : Ga liquid metal ion source, Accelerating voltages : 1 to 30 kV (in 5 kV steps), Image resolution : 5 nm (at 30 kV), Beam current : Up to 60 nA (at 30 kV)