표면분석실 연구장비 소개
* 기기명을 선택하시면 상세정보를 확인하실 수 있습니다.
No. | 설치장소 | 기기명 | 단축명 | 모델명 | 담당자 | 연락처 |
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1 | [81B110]이차전자질량분석실 | 이차이온질량분석기 | SIMS | TOF-SIMS-5 | 홍문규(Hong Moon-Kyu) |
031-299-6764![]() |
2 | 표면깊이(낙차)측정기 | Profiler | Bruker DXT-A | |||
3 | 3차원 형상 측정 레이저 공초점 현미경 | 3D LSM | OLS5100 | |||
4 | [81B113]기기분석실Ⅰ | 고분해능 원자힘현미경(바이오겸용) | HR-AFM(Bio 겸용) | NanoWizard Ultra Speed | ||
5 | 광전자분광기2 | XPS2 | JPS-9030 | 용진영(Yong Jin-young) |
031-299-6762![]() |
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6 | 광전자분광기1 | XPS1 | ESCALAB250 | |||
7 | 고분해능오제전자분광기 | AES | JAMP-9500F | 이은영(Lee Eunyoung) |
031-299-6750![]() |
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8 | 엘립소미터 | Ellipsometer | SENResearch | |||
9 | [81B105]엑스선분석실 | 고출력, 고분해능 다목적 엑스선회절분석기 | 다목적 XRD | Smartlab | 김미래(Kim Mirae) |
031-299-6736![]() |
10 | 고출력 분말용 X선 회절분석기 | HP-Powder XRD | D8 ADVANCE | |||
11 | 고출력 박막용 X선 회절분석기 | HP-Thin Film XRD | D8 ADVANCE | |||
12 | 제2공학관 25202호 | 마스크정렬노광시스템 | Mask Aligner | MA/BA6 | 홍문규(Hong Moon-Kyu) |
031-299-6764![]() |