엘립소미터
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| 단축명 | Ellipsometer |
| 모델명 | SENResearch |
| 설치장소 | 표면분석실//[81B111]기기분석실Ⅰ |
| 제작사 | SENTECH |
| 도입년도/가격 | 202203 / 1 |
| 담당자 | 이은영 031-299-6750 |
| 장비용도 | |
| 엘립소미터는 빛의 편광과 위상정보를 이용하여 박막의 두께를 옹스트롬 수준 까지 측정할 수 있다. 비파괴 실험, 높은 정밀도, 넓은 측정범위 등의 장점을 가지고 있다. 박막의 두께, 굴절률을 정밀하게 측정할 수 있다. 관찰대상 시료에 타원편관 된 빛을 쪼여서 반사된 선편광된 빛을 검사한다. 알고있는 편광상태(45˚ 선형편광)의 빛을 시료에 조사시키면 시료표면에 의해 편광상태가 바뀌며, 바뀐 편광상태를 측정한다. 엘립소미터는 편광상태의 변화를 측정하는 것이다. 따라서 엘립소미터의 raw 데이터(Ψ,Δ)는 편광상태를 설명한다.Ψ(psi)는 p파와 s파의 반사계수비, Δ(delta)는 위상차이며, 이 두가지로 모든 편광상태를 설명할 수 있다.얻어진 엘립소미트리 데이터만 가지고는 알고자 하는 두께나 굴절률등의 정보를 얻을 수 없으며, 분석 모델링을 통해 접근해야한다. | |
| 기본사양 | |
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