신규 고분해능오제전자분광기 이용 안내
- 공동기기원
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- 2022-03-18
신규 고분해능오제전자분광기 이용 안내
○ 장비명: 고분해능오제전자분광기(Auger Electron Spectrometer, AES)
○ 제작사 및 모델명: JEOL JAMP-9510F
○ 용도: 고 에너지 전자빔을 표면에 조사하여 Auger전자(시표 표면 3-10 nm 내)를 발생시켜 에너지를 측정하여 표면 원소 및 깊이 분석
○ 이용요금
장 비 명 | 구 분 | 항 목 | 분석료(원) | ||
단 위 | 교 내 | 교 외 | |||
AES (오제전자분광기) | 기본료(진공 및 전처리) | 1회 | 70,000 | 100,000 | |
표면분석 | Surface, Map(기본 원소 3개) | 시료당(30분) | 90,000 | 120,000 | |
Map(원소 추가) | 개당 | 15,000 | 20,000 | ||
깊이분석 | Depth | 시료당(30분) | 120,000 | 160,000 |
○ 장비담당: 031-299-6750 (강은정 연구원)