닫기
통합검색
 
분석실 안내

연구장비 소개

분석실 안내

연구장비 소개

초저온집속이온빔장치 (Cryo-FIB)

구면수차보정투과전자현미경3
사진
영문명/단축명 Cryo Focused Ion Beam/Scanning Electron Microscope / Cryo-FIB/SEM
모델명

Aquilos 2

설치장소 미세구조분석실 / [82113] FIB lab.2
제작사 Thermo Fisher
도입년도/가격 2023.9월 / 원 
담당자/연락처/e-mail 박정양(PARK JEONG YANG) / 031-299-6726 / kiki0409@skku.edu

 

♦ Features

 

• 자동화된 batch cryo-lamella milling

- 세포의 특정 관심 지점을 표시하여 여러 개의 라멜라를 자동으로 준비

• Cryo-lift-out 라멜라 준비

- 나노미터 수준의 위치 정확도로 특정 표적 영역의 라멜라 준비 가능

• 3D visualization

Cryo-Auto Slice and View 소프트웨어를 통해 순차적 milling된 시료 단면에 대한 3차원 이미지 획득

• iFLM Correlative System

- 형광 표시된 세포를 높은 진공 상태에서 이미지화하여 특정 관심 지점을 확인하여 정확하게 시료 준비

 

♦ Additional Options

 

• Cryo Sample Preparation with embedded Fluorescence microscope(iFLM) & sputter coater 

• Automated Cryo Sample Preparation with AutoTEM for on-the-grid batch lamella

• 3D Volume Imaging with Auto Slice & View software

• Large 2D Imaging Analysis with tiling & stitching  

 

♦ Specification

 

• Electron Gun : Schottly emitter

• Electron beam resolution : 2.6nm at 2kV, 1.6nm at 30kV (at room temperature), 6.0 nm at 2kV (at cryo condition)

• Electron beam probe current : 1pA to 400nA 

• Electron beam accelerating voltage : 200 V to 30 kV

• Ion beam resolution : 7nm at 30kV at cryo condition

• Ion beam probe current : 1.5pA to 65nA (15 position aperture strip)

• Ion beam accelerating voltage : 500 V to 30 kV

• Cryo stage system : X,Y :110 mm, Z : 65 mm motorized

• Terminal temperature at stage <-180℃