1. 소개
미세구조분석실은 짧은 파장의 전자선을 재료에 충돌시 발생하는 여러 가지 정보(투과전자, 이차전자, 후방산란전자, 특성 X-선 등)를 이용하여 재료를 측정 및 분석하고 있다. 본 분석실에서는 주사전자현미경, 투과전자현미경, 집속이온빔장치 등의 장비를 이용하여 물리, 화학 등 기초과학분야에서부터 신소재, 화공, 고분자, 정보통신, 생명과학 분야 등의 μm 및 nm 영역에서 재료의 영상 분석, 결정구조분석, 화학적 조성 분석 및 미세 시료 가공을 지원하고 있다.
[문의전화]
- 총괄 / 책임 (Tel. 031-299-6712)
- HR-TEM I (Tel. 031-299-6738)
- HR-TEM II (Tel. 031-299-6735)
- HR-TEM III (Tel. 031-299-6734)
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FIB I (Tel. 031-299-6777)
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FIB II (Tel. 031-299-6729)
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FIB III(Tel. 031-299-6732)
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FE-SEM II, Nano Indenter (Tel. 031-299-6730)
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FE-SEM III (Tel. 031-299-6737)
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FE-SEM IV (Tel. 031-299-6776)
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FE-SEM V (Tel. 031-299-6749)
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FE-SEM VI (Tel. 031-299-6742)
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Cryo-EM System (Tel. 031-299-6718)
2. 주요 분석업무
- 재료의 미세구조 분석
- 재료의 결정구조 분석
- 재료의 화학성분 분석
- 재료의 미세영역 가공