주사전자현미경 측정 문의: ☎ 031-299-6730(SEM1, SEM2, SEM3), 6776(SEM4), 4749(SEM5), 6742(SEM6)
1. 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope) 측정원리
FE-SEM(Field Emission Scanning Electron Microscope)은 전자 소스에서 발생한 고에너지 전자를 가속하여 렌즈 시스템으로 집중시키고, 이를 시료표면에 스캔하여 생성되는 반사 전자(Secondary Electrons, SE)와 후방 산란전자(Backscattered Electrons, BSE) 등의 신호를 감지하고 이미지로 변환하여 물체의 미세한 표면 구조와 특성을 고해상도로 관찰하는 분석 장비이다. EDS(Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy)를 활용하여 시료의 원소 조성을 분석하고, EBSD(Electron Backscatter Diffraction)을 통해 결정 방향과 결정 구조를 확인할 수 있다. 나노구조물, 나노입자, 얇은 필름, 반도체 등의 미세한 표면 구조와 특성을 연구하는데 널리 활용된다.
출처: NFEC MANUAL 제9호
2. 분석 종류
| 구분 | 분석내용 | 결과 |
|---|---|---|
| 이미지 분석 |
표면 형태, 미세구조, 입자크기 및 분포 (Cellulose Nanofiber(CNF)) |
|
| 화학분석(EDS) | 원소조성 |
 |
| 결정분석(EBSD) |
결함 및 결정구조 (철(Fe) 결정립및결정방위분석) |
 |
3. 활용 및 연구분야
| 연구분야 | 내용 |
|---|---|
| 나노 구조물 | 나노입자, 나노섬유, 나노필름 등의 나노구조물의 표면 형태와 크기를 분석하여 나노재료의 특성을 연구 |
| 세포 및 생체조직 | 세포 구조와 조직의 미세한 표면 형태와 상태를 관찰하여 생명 과학 및 의료 분야에서 세포와 조직의 건강 상태를 평가 |
| 반도체 및 전자소자 | 반도체 칩, 트랜지스터 등의 미세한 패턴과 결함을 분석하여 전자 공학 및 반도체 제조에 활용 |
| 재료특성 | 금속, 세라믹, 폴리머 등 다양한 재료의 표면 특성을 평가하여 소재의 물리적, 화학적 특성을 분석 |
| 나노입자 크기 및 분포 | 나노입자의 크기와 분포를 분석하여 촉매 및 나노재료의 제조 및 품질 평가 |
| 표면처리 및 코팅효과 | 다양한 표면 처리 및 코팅 방법의 효과를 분석하여 재료의 성능을 향상 |
| 결정구조 | 금속, 결정성 세라믹 등의 결정 구조와 결정 방향을 분석하여 소재의 기계적 특성을 평 |
| 환경오염 물질 | 미세 입자와 환경오염 물질의 표면 특성을 분석하여 환경오염 원인과 효과연구 |
| 고고학 | 고고학적 발굴 현장에서 발견되는 유물의 구조와 형태를 분석하여 고고학적 연구에 활용 |
| 소재 개발 및 품질관리 | 새로운 소재의 표면 특성을 분석하여 소재 개발과 품질 관리에 활용 |
4. 보유장비별 스펙비교
*장비명을 선택하시면 상세스펙을 확인 할 수 있습니다.
| 장비명 | 모델명 | 이미지분석 | 화학분석(EDS) | 결정분석(EBSD) |
|---|---|---|---|---|
| 초고분해능전계방사주사전자현미경(FESEM 6) | JSM-IT800 | ○ | ○ | ○ |
| 초고분해능전계방사주사전자현미경(FESEM 5) | JSM-IT800 | ○ | ○ | ○ |
| 열전계주사전자현미경4 (FE-SEM 4) | JSM-7600F | ○ | ○ | Ⅹ |
| 전계방사주사전자현미경(FESEM 3) | JSM7500F | ○ | ○ | Ⅹ |
| 열전계방사형주사전자현미경(FESEM 2) | JSM7000F | ○ | ○ | ○ |
| [슈퍼유저용]주사전자현미경 |
JSM-6390A |
○ |
○ | Ⅹ |