[슈퍼유저용]주사전자현미경(SEM1)
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| 영문명/단축명 | [SUPERUSER] Field Emission Scanning Electron Microscope/[슈퍼유저용]SEM |
| 모델명 | JSM-6390A |
| 설치장소 | 미세구조분석실//[81B114A]초박미세절편기 |
| 제작사 | JEOL |
| 도입년도/가격 | 2007년 12월/130,000,000원 |
| 담당자/연락처/e-mail | 신나라 / 031-299-6776 / merryshin@skku.edu |
♦ Specification
• Resolution
- 3.0nm guaranteed at 30kV
- 8.0nm guaranteed at 3kV
- 15.0nm guaranteed at 1kV
• Image modes
- SEI, BEI
• Probe current
- Approximately 1㎀ to 1㎂