닫기
통합검색
 
분석실 안내

연구장비 소개

분석실 안내

연구장비 소개

고분해능오제전자분광기(Feild Emission Auger Electron Spectrometer)

고출력 박막용 엑스선회절분석기
사진
영문명/단축명 High Power Thin Film X-Ray Diffractometer System / AES
모델명 JAMP-9500F
설치장소 표면분석실 / [81B111]기기분석실Ⅰ
제작사 JEOL
도입년도/가격 2022년 3월/ 1,055,394,000
담당자/연락처/e-mail 이주영(Lee Juyoung) / 031-299-6724 /ju263423@skku.edu 

 

♦ Features

 

• 표면 (수Å)에 대한 조성분석

• 미소부위 조성 분석 (Point Surface)

• 박막의 깊이 방향 원소 분석 (Depth Profiling, ~1µm 까지 가능)

• 2차원적인 원소 분포도 측정 (Auger Image Mapping, Line Scaning)

 

♦ Specification

 

• EOS

Emitter : ZrO/W Schottky FEG

Acce. Volt(가속전압) : Max. 25kV. 이상

Probe Current(탐침전류) : min. 1x10E-11, Max. 1x10E-7A이상

min. Probe Size : 3nm (SEI Resolution at 25kV), 8nm (Auger analysis at 25kV)

• Auger analysis system

AnalyzerElectrostatic hemispherical  analyzer (HSA)

- Energy resolution(ΔE/E)0.05 to 0.6%

Sensitivity700,000 cps이상 (10kV, 10nA)

• Ion gun

Ion energyMax. 4keV 이상

- Ion current (absorbed current)2μA at 3keV

Ion current density : 250μA/c㎡ at 3keV, 0.1μA/c㎡ at 10eV

Ion beam diameter : min. 200μm 이하

Raster area : 10 mm 이하

• Vacuum System

Main Chamber : 6.7×10-8 Pa이하

 

♦ Application

 

• 반도체 공정 및 기술개발, 자기 기록 물질 , 디스플레이 재료, 산화 및 부식 촉매 이차 전지 등을 비롯한 여러 분야에 광범위하게 이용

• FE-SEM 으로 관찰할 수 있어 원하는 부분의 국소 영역 원소 분석이 가능

• 결합 상태에 따라 스펙트럼의 모양이 바뀌기 때문에 특정 원소의 화학결합의 중요한 정보를 제공

 

• Wide Scan

• Split Scan

• Line Scan

• Mapping

• Depth Profile