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분석실 안내

연구장비 소개

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엘립소미터(Ellipsometer)

고출력 박막용 엑스선회절분석기
사진
영문명/단축명 Ellipsometer / Ellipsometer
모델명 SENResearch
설치장소 표면분석실 / [81B111]기기분석실Ⅰ
제작사 SENTECH
도입년도/가격 2022년 3월/   원
담당자/연락처/e-mail 이은영(Lee Eunyoung) / 031-299-6750 / ley1231@skku.edu

 

♦ Features

 

• Widest spectral range and highest spectral resolution

190nm ~ 3,500nm 범위의 넓은 스펙트럼 범위를 다루고 있습니다.

• CCD Array detector를 이용한 빠른 측정 능력

• 빠른 Step and scan Analyzer를 이용한 낮은 S/N검출 비율

• 하나의 장비에서 지원하원 Full 15 Mueller matrix

• 피라미드 고미오 미터 방식을 이용한 넓은 측정 영역

• 다양한 모델링의 database 소유

 

♦ Specification

 

 

♦ Application

 

• Biology and Chemistry in Institute & Universities

• Telecommunication (LiNbO3, waveguides)

• Nanom aterials and particles

• 모든 분야의 Thin Film 

 

• 편광상태변화(Psi / Delta)

 

• 굴절률(REFRACTIVE_INDEX)

 

• 두께(Thickness)