다목적 엑스선회절분석기(다목적 XRD)
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| 영문명/단축명 | High Power, High Resolution Multi Purpose X-Ray Diffractometor / 다목적 XRD |
| 모델명 | Smartlab |
| 설치장소 | 표면분석실 / [81B105]엑스선분석실 |
| 제작사 | Rigaku |
| 도입년도/가격 | 2021년 2월/ 371,392,929원 |
| 담당자/연락처/e-mail | 김미래(Kim Mirae) / 031-299-6736 / mrmr24@skku.edu |
♦ Features
• Rotating Anode: 9kW
• CBO(Cross Beam Optic)
♦ Analyze Mode
• th/2th scan
• 2th scan (GID, GI-XRD)
• phase 분석(search-match)
• XRR
• Rocking Curve
• 잔류응력
• Pole figure
♦ Additional Options
• ICDD Database PDF-2
• Software: SmartLab Studio Ⅱ
♦ Specification
• X-ray generator
- 9kW(Rotating anode)
- X-ray target: Cu(1.54Å)
• Goniometer
- Scanning mode: Theta-theta vertical type
- Goniometer radius: 300mm
- Min. Step: 0.0001°
- Cradle: Chi, Phi, Z
- In-Plane goniometer
• Optic System: Automatic alignment
• Detector: D/teX Ultra 250(1D&0D)
♦ Application Data
• Phase분석(search-match): ICDD database matching(원소정보필요)
• XRR(X-ray Reflectivity): 100nm이하의 단일 층에 대해 두께, 밀도, 거칠기 시뮬레이션 (CIF 있는 물질만 가능)
• Rocking Curve: 박막의 결정 퀄리티 분석. 결정 구조의 광학적 품질과 결정의 성장 상태를 평가하는 데 사용
• 잔류응력(residual stress): bulk 물질의 잔류응력 분석
