표면깊이낙차측정기 (Profiler)
| 사진 |
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|---|---|
| 영문명/단축명 |
Stylus Profiler / Profiler |
| 모델명 |
Bruker DXT-A |
| 설치장소 | 표면분석실 / [81B110]이차전자질량분석실 |
| 제작사 | Bruker |
| 도입년도/가격 | 2011.9월 / 50,000,000원 |
| 담당자 / 연락처 / e-mail | 홍문규(Hong Moon-Kyu) / 031-299-6764 / hmkdream@skku.edu |
♦ Features
• Measurement of etch rates, deposition rates, and film growth rates.
• Measurement of surface roughness.
• Thickness mapping.
• S/W: Vision64 Operation and Analysis Software
♦ Specification
• Maximum step height: 1 mm.
• Vertical resolution: 0.1 nm.
• Scan length: 50 um to 50 mm.
• 120,000 data points per scan.
• Scans can be stitched end to end to span up to 150 mm.
• Stylus force: 0.098 mN to 147 mN (0.01 mgf to 15 mgf).
• Motorized X-Y-theta stage.
• Wafer mapping up to 150 mm.
• 3-D topological imaging.
• Maximum wafer diameter: 200 mm (8 in).
• Small pieces supported: Yes.
• Maximum thickness: 50 mm.
♦ Application Data
• 단차측정: 수직방향 Single Scan으로 재료 표면에서의 단차를 측정
• 3D Mapping: 수직방향 Scan을 50회 이상 중첩하여 3차원 형상을 Mapping 하여 표면의 3차원 형상 및 조도측정
