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표면깊이낙차측정기 (Profiler)

표면깊이낙차측정기
사진
영문명/단축명

Stylus Profiler / Profiler

모델명

Bruker DXT-A

설치장소 표면분석실 / [81B110]이차전자질량분석실
제작사 Bruker
도입년도/가격 2011.9월 / 50,000,000원 
담당자 / 연락처 / e-mail 홍문규(Hong Moon-Kyu) / 031-299-6764 / hmkdream@skku.edu

 

♦ Features

 

• Measurement of etch rates, deposition rates, and film growth rates.

• Measurement of surface roughness.

• Thickness mapping.

• S/W: Vision64 Operation and Analysis Software

 

♦ Specification

 

• Maximum step height: 1 mm.

• Vertical resolution: 0.1 nm.

• Scan length: 50 um to 50 mm.

• 120,000 data points per scan.

• Scans can be stitched end to end to span up to 150 mm.

• Stylus force: 0.098 mN to 147 mN (0.01 mgf to 15 mgf).

• Motorized X-Y-theta stage.

• Wafer mapping up to 150 mm.

• 3-D topological imaging.

• Maximum wafer diameter: 200 mm (8 in).

• Small pieces supported: Yes.

• Maximum thickness: 50 mm.

 

♦ Application Data

 

• 단차측정: 수직방향 Single Scan으로 재료 표면에서의 단차를 측정

 

• 3D Mapping: 수직방향 Scan을 50회 이상 중첩하여 3차원 형상을 Mapping 하여 표면의 3차원 형상 및 조도측정