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분석실 안내

연구장비 소개

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연구장비 소개

주사전자현미경

주사전자현미경
연구장비 이미지
단축명 SEM
모델명 JSM-6390A
설치장소 미세구조분석실//81B106호
제작사 JEOL
도입년도/가격 200712 / 130,000,000
담당자 강채연(Kang Chaeyeon) 031-299-6737
장비용도
Analysis of phase at small region for thin film and semiconductor materials needing the high resolution. 고해상도를 요구하는 박막재료, 반도체재료의 국부 영역의 상관찰
기본사양
Resolution : 3.0 nm Magnification : 30 to 300K Image modes : SEI, BEI Accelerating voltage : 1 to 30kV EDS system (jeol system)