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분석실 안내

연구장비 소개

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열전계주사전자현미경Ⅳ(FE-SEMIV/EDS)

열전계주사전자현미경Ⅳ(FE-SEMIV/EDS)
연구장비 이미지
단축명 FESEMⅣ/EDS
모델명 JSM-7600F
설치장소 미세구조분석실//81B101호
제작사 JEOL
도입년도/가격 201104 / 468,404,015
담당자 송유진(Song Yoojin) 031-299-6776
장비용도
Analysis of phase, chemical elements, crystal structure at small region for materials needing the high resolution 고해상도를 요구하는 재료의 상관찰, 화학조성분석, 결정구조분석
기본사양
- EI resolution : 1.5 nm (1 kV) in GB mode, 1.0 nm (15 kV) - Magnification 25 to 1,000,000x - Accelerating voltage 0.1 to 30 kV - EDS 장착